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等离子清洗机(去胶机)
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等离子清洗机(去胶机)

等离子清洗机(去胶机)

    型号:IoN 100WB

    主要功能:基底表面处理及图案化用

    技术指标:腔体尺寸:375 x 375 x 762 mm;两路不锈钢材质的质量流量控制器 (MFC); 最大流速500 scc/m7层电极板托盘;600 13.56MHz射频发生器Ebara EV-S20干泵,最大抽速为1670 L/min。

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