联系我们 中文版 English  
对外服务
 对外服务
 
 
 
 
 
 
感应耦合等离子增强化学气相沉积机
您所在的位置 >> 对外服务 >> 感应耦合等离子增强化学气相沉积机
感应耦合等离子增强化学气相沉积机

感应耦合等离子增强化学气相沉积机

    型号:SI 500 D

    制造商:德国,SENTECH Instruments GmbH

    主要功能:薄膜封装,防止透明导电膜的银迁移, 低温沉积SiOxSiOxCyHz薄膜

    技术指标:工艺验收:氮化硅沉积工艺;沉积温度:≤ 150ºC;沉积速率:≥ 15 nm/min;膜厚均一性(片内):≤ ± 5% (8”) (note 1);重复性(片间):   ≤ ± 3% (note 2);折射率均一性(片内):≤ ± 1% (8”) (note 1);重复性(片间):   ≤ ± 1% (note 2);应力:≤ 100 Mpa;BHF腐蚀速率:≤ 20 nm/min (10:1 BHF @ 20°C)

 

版权所有:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 苏ICP备10220403号-4
地址:苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号 电话:0512-62872695 传真:0512-62603079 邮箱:yabangli2017@sinano.ac.cn
您是第
位访客