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台阶仪
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台阶仪

台阶仪

    型号:DEKTAK XT

    制造商:bruker

    主要功能:接触式表面形貌测量仪器。台阶式探针轮廓仪,结构紧凑,可提供很高的重复性和精度。它不仅能测量台阶高度和表面纹理,还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。全程程序控制的Dektak系统对于MEMS,纳米技术和半导体应用都非常方便。

    技术指标:手动样品台,4英寸,XY行程100mm*100mm;扫描长度:50µm 55mm,可达120,000个数据点/扫描;探针加力范围:0.03毫克至15毫克,探针快速更换附件(标配);垂直测量范围:可达1毫米;自动台阶检测功能特点:自动水平调整,自动检测台阶,自动测量台阶高度和多重台阶数据综合对比。

 

 

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