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印刷工艺

      本中心拥有国际领先的四款印刷电子专用设备(Sonoplot Microplotter II、Aerosol Jet 300P、Labratester、MicroFab Jetlab II),可同时进行气流喷印(Aerosol Jet)、喷墨打印(inkjet)、凹版印刷(gravure)以及柔版印刷(flexographic)等方面的印刷电子技术研究,并针对其各自的特点做到工艺间的优势互补,在保证器件性能的前提下优化生产工艺,突出印刷电子器件用料省、成本低、速度快和污染少的独特优势。

      Sonoplot Microplotter II系统采用专利的低频超声谐振释放技术在打印连续性和均匀性方面,打印材料黏度范围,以及精确定位定量释放方面具有独特的优势。非离散型沉积技术可得到真正连续性图形并且由于喷嘴与基底距离比较近,没有飞墨或斜喷现象,因此没有卫星点现象产生,由于墨滴与基底无撞击力也不容易扩散因此无需特殊处理基底,可打印黏度范围广也扩展了材料适用范围同时避免了频繁堵喷头问题。此设备可制作5微米线宽,释放体积最小为0.6pL, 打印黏度范围最高可到1200cP,可控超声湿度罩的配置进一步提高了设备的对于易挥发溶剂的适用性。

      Aerosol Jet 300P系统可以直接打印各种固体颗粒小于500纳米的液相分散体系,从而用于印刷电子产品的各种功能层如导体、半导体、介电材料、电阻等,以及刻蚀胶、掩模等其他用途。该设备具有精度高、材料适用范围广、数控输入图案等优点,所打印的最小尺寸达5微米,可在刚、柔性,以及非平面衬底上实现打印。

      Labratester可用于柔性衬底的凹版或柔版印刷,具有操作简便、参数调节范围广、大面积印刷速度快等优点。由于其接触式原理,该设备可用于含大于1微米的超大颗粒液相分散体系的印刷。通过设计优化印刷模版,可望达到20微米的分辨率。

      Dimatix DMP-2831喷墨打印系统可在各类型表面上打印各种功能材料,并在电脑控制下自由形成各种图案。该系统可沉积1到10皮升尺寸的微型流体墨滴,并将功能墨水印刷到5厘米厚度以内的各种衬底上,并达到最小20 微米的线宽或分辨率。由于采用了集成有墨盒、喷嘴和电路的cartridge,该打印机可通过更换cartridge来实现打印材料的转换,从而避免了繁琐的清洗操作和材料的交叉污染。墨滴观察窗、加热压盘和基准相机的配置进一步提高了设备的打印精度和操作简易性。

      MicroFab Jetlab II是一款高精度的喷墨打印系统。除了具备基底适应面广、无需模版、按需喷墨等inkjet所共有的特点外,该设备在墨滴控制和图案定位精度方面具有独特的优势,从而为实验室中对喷墨打印技术的研究提供了一种可观察和优化的工具。该设备配有口径规格齐全的喷头,同时提供了四组独立的打印通道,可满足各类不同性质油墨、不同图案分辨率的打印需求,并提供了良好的墨滴观测和控制条件。除此之外,该设备配有高温喷头模块,可对喷头中的油墨进行240℃以下的加热处理,为打印熔融材料提供了条件。

千级超净实验室
Sonoplot Microplotter II系统
气流喷射打印系统(Aerosol jet printer)
Dimatix DMP-2831喷墨打印系统
小型凹版印刷机
MicroFab Jetlab II
接触式印刷研究平台
丝网印刷机AT-45PA
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